Þróun mjög nákvæmra véla er mikilvæg forsenda fyrir þróun ofurnákvæmrar vinnslu. Á undanförnum árum hafa þróuð lönd þróað margs konar háþróaða öfgafulla vinnsluvélar með góðum árangri. Þróunarstefna ofurnákvæmra véla er að bæta enn frekar nákvæmni ofurnákvæmra véla, þróa stórfelldar ofurnákvæmar vélar og þróa fjölnota og afkastamikil sértækar ofurnákvæmar vélar.
Bandaríkin, Bretland, Þýskaland og önnur lönd byrjuðu að framleiða mjög nákvæmar vélar á áttunda áratugnum (Japan á níunda áratugnum) og geta útvegað þau í lotum. Hvað varðar stórar ofurnákvæmar vélar, þróaði LLL National Laboratory í Bandaríkjunum með góðum árangri tvo stórfellda ofurnákvæma demantsrennibekk árið 1986: annar er láréttur DTM-3 demantsrennibekkur með þvermál vinnslu. 2,1m, og hitt er 1,65m vinnsluþvermál. LODTM Lóðréttur Stór Optical Diamond Rennibekkur. Þar á meðal er LODTM lóðréttur stór sjón demantsrennibekkur viðurkenndur sem ofurnákvæmni vélar með hæstu nákvæmni í heiminum. Bandaríkin þróuðu síðar stórfellda 6-ás CNC nákvæmnisslípuvél fyrir nákvæmnisslípun á stórum sjónspeglum.
Breska Cranfield Precision Machining Center þróaði með góðum árangri OAGM-2500 fjölvirka þriggja hnita CNC slípuvélina árið 1991 (borðflatarmál 2500 mm × 2500 mm), sem getur unnið (mala, snúið) og mælt nákvæmni í frjálsu formi yfirborði. Vélin notar aðferðina við að skeyta vinnustykki og getur einnig unnið stóra spegla með þvermál 7,5m í stjarnfræðilegum sjónaukum.
Fjölnota og afkastamikil sérnota öfgafull nákvæm vélaverkfæri Japans hafa þróast hratt, sem hefur gegnt góðu hlutverki í að efla þróun japanskra rafeinda- og heimilistækjaiðnaðar.