Nákvæmni hlutavinnslu er ekki hægt að ljúka öllu yfirborðsvinnsluinnihaldi í einu ferli, öllu ferlinu við nákvæmnishlutavinnslu má skipta í eftirfarandi stig.
1, grófgerðarstig. Skerið mest af vinnsluheimildum hvers vinnsluflöts og vinnsla úr fínu viðmiðuninni er aðalatriðið að auka framleiðni eins mikið og mögulegt er.
2, hálffrágangur stig. Skerið gallana sem geta komið upp eftir grófa vinnslu og undirbúið frágang yfirborðsins, sem krefst ákveðinnar vinnslu nákvæmni og tryggir viðeigandi frágangsbil, á meðan lokið er við vinnslu á aukafletinum.
3, Ljúkastig. Á þessu stigi, notkun á stórum skurðarhraða, litlum fóðri og dýpt skurðar, fjarlægir frágangsmörkin sem fyrri ferli skildi eftir, þannig að yfirborð hlutarins uppfylli tæknilegar kröfur teikningarinnar.
4, Létt frágangsstigi. Aðallega notað til að draga úr yfirborði ójöfnur gildi eða styrkja vinnslu yfirborð, aðallega fyrir yfirborð grófleika kröfur eru mjög háar (ra Minna en eða jafnt og 0.32μm) yfirborðsvinnsla.
5, ofurnákvæmni vinnslustig. Vinnslunákvæmni í 0.1-0.01μm, yfirborðsgróft gildi ra Minna en eða jafnt og 0,001μm vinnsluþrep. Helstu vinnsluaðferðirnar eru: nákvæmnisskurður, fínn spegilslípun, nákvæmnisslípa og fægja o.fl.