Japanski fræðimaðurinn Omori og fleiri hafa rannsakað slípihjól með ofurslípiefni síðan 1987, þróað malaaðferð með rafgreiningu í vinnslu (ELID) og gert sér grein fyrir hágæða speglaslípun og sveigjanlegri slípun á hörðum og brothættum efnum. , og nú hefur aðferðinni verið beitt með góðum árangri við ofurnákvæma vinnslu kúlulaga, ókúlulaga linsa og móta.
① ELID spegla mala meginreglan
ELID slípikerfi inniheldur: ofurfínkornað ofurhart slípihjól úr málmbindingu, rafgreiningaraflgjafi, rafgreiningarrafskaut, raflausn (einnig notað sem malavökvi), rafmagnsbursta og vélbúnaðar. Í malaferlinu er malahjólið tengt við jákvæða stöng aflgjafans í gegnum rafmagnsburstann, rafskautið sem sett er upp á vélinni er tengt við neikvæða stöng aflgjafans og raflausninni er hellt á milli mala. hjólið og rafskautið, þannig að aflgjafinn, malahjólið, rafskautið, malahjólið og raflausnin á milli rafskautanna til að mynda fullkomið rafefnakerfi.
Þegar ELID mala er notað eru nokkrar sérstakar kröfur um slípihjól, aflgjafa og raflausn sem notaður er.
Það þarf að bindiefni malahjólsins hafi góða rafleiðni og rafgreiningu og hýdroxíð eða oxíð bindiefnisins er óleiðandi og óleysanlegt í vatni. Aflgjafinn sem notaður er fyrir ELID mala getur notað DC aflgjafa rafgreiningarvinnslu eða ýmiss konar Waveform púlsaflgjafa eða DC grunn púlsaflgjafa. Í ELID malaferlinu virkar raflausnin ekki aðeins sem malavökvi heldur gegnir það einnig hlutverki við að lækka hitastig malasvæðisins og draga úr núningi. ELID mala notar venjulega vatnsleysanlegan malavökva, sem er vélbúnaður sem notar slípihjól sem byggir á bindi. Styrkur er mikill og slit á slípihjólum er lítið með því að stilla viðeigandi magn af rafgreiningu. Á sama tíma er hægt að fá mikla lögun nákvæmni. Með því að beita þessari meginreglu er hægt að framkvæma ofurnákvæma spegilslípun á ljósfræðilegum íhlutum af ýmsum stærðum, allt frá flötum til ókúlulaga yfirborðs.
②ELID spegilslípandi tilraunakerfi
Á ASG-2500T vélbúnaði Rank Pneumo Company er Omori ELID kerfið sem samanstendur af slípihjóli, aflgjafa, rafskauti, malavökva osfrv. sett upp til að nota 400# fyrir grófa mótun og 1000# eða 2000# fyrir hálffrágang. Þegar spegilslípið er notað, notaðu 4000 # (meðalagnastærð er um 4μm) eða 8000# (meðalagnastærð er um 2μm) steypujárnstengdu demantsslípihjól, rafgreiningarslípunaraflgjafi (ELID aflgjafi), með DC hátíðni púlsspennu Tegund sérstakur aflgjafi, vinnuspennan er 60V, straumurinn er lOA. Þegar malarvökvinn er notaður þarf að þynna vatnsleysanlega malavökvann AFH-M og CEM um 50 sinnum með hreinu vatni.
③ ELID spegil mala tilraunaaðferð og tilraunaniðurstöður
Fyrir ókúlulaga yfirborðsvinnslu er flata slípihjólið aðeins myndað og samþætt af skállaga slípihjólinu (325# steypujárnstengdu demantsslípihjól er φ30×W2mm) sem er sett upp á vinnustykkisskaftið. Grófslípun og 1000# hálffrágangur, og notið að lokum 4000# fyrir ELID spegilslípun. Á ofurnákvæmri aspheric vinnslu vélinni, með hjálp ELID mala tækni, var ljósgler BK-7 aspheric linsan unnin með góðum árangri. . Yfirborðsnákvæmni er betri en o. 2μm, yfirborðsgrófleiki nær Ra20nm og fyrir askúlu yfirborðsvinnslu örlítið mjúkra efna eins og LASFN30 og Ge getur yfirborðsnákvæmni líka verið betri en O. 2-O. 3μm, yfirborðsgrófleiki allt að Ra30nm.